A3100 系列是一款耐强酸正性光刻胶。也是一款可去胶的耐强酸光刻胶。
在60℃温度下,可耐王水、盐酸(HCl)、氢氟酸(HF)等强酸超10分钟。
A3100系列(耐强酸正性光刻胶)匀胶厚度 3-20μm。高分辨率,垂直性好,显影适用TMAH&KOH,易去胶,耐干法刻蚀。